雙層滑動式CVD管式電爐
洛陽炬星窯爐自主研發(fā)新一代雙層滑動式CVD管式電爐,專為石墨烯等高端材料研發(fā)定制。
適用于高校、企業(yè)研發(fā)場景。
系統(tǒng)采用模塊化雙層設計,集成化三溫區(qū)獨立控溫,最高溫度達1100℃,精準穩(wěn)定。
配備西門子S7-200 PLC智能控制系統(tǒng),觸摸屏操作,實時監(jiān)控溫度與真空度。
高純度D130mm石英管腔、滑動式結(jié)構(gòu)配合滑軌與坦克鏈,推進平穩(wěn)、定位精準,可高效完成石墨烯等材料的沉積工藝。
整體設計結(jié)構(gòu)緊湊,雙工位并行實驗,大幅提升科研效率。
炬星CVD技術(shù)——用精密工藝,推動科研未來。